高温tmds 沉积一体机-利来w66国际

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高温tmds 沉积一体机

发布时间:2023-06-13  浏览次数:155


设备简介:

该设备主要应用于过渡金属二硫化物材料制备。设备分两个温区,高温区用于硫粉的蒸发,低温区用于moo3的蒸发及硫化物的沉积。适当调整衬底和蒸发源的距离、蒸发温区的温度及进气流量,可得到大面积的单层二硫化物材料。

本设备仍可作为满足实验参数的常规cvd设备使用。

  


 

 

 

 


   

    技术参数: 

1.炉体与控制系统集成一体化,使试验方便快捷直观。
2.配置两路质量流量计混气气路,可以单独设置气体流量。
3.精确pid程序多段控制,实现不同工艺多段温度时间监控。
4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料,保温效果极佳。
5.配备机械泵或分子真空泵,可以实现不同的真空条件。

炉体尺寸

1100mm×1250mm×750mm(×高×深)

刚玉管尺寸

φ80*1000mm

主控升温速率

建议≤10℃/min

使用温度

1200℃以下可长期使用

控温精度

±1℃

最高温度

1100℃

加热元件

高温合金丝

加热功率

5kw

主控炉膛材料

高纯多晶纤维复合耐火保温层

主控炉膛模式

开启式

密封方式

不锈钢密封法兰

测温元件

k型热电偶

加热温区长度

双温 210mm*2    

操控模式

nbd-101e嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7英寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式;

温度曲线设置

主加热可预存15条温度曲线,每条曲线可设置30段"时间—温度曲线",实时监控,动态真实显示“时间-温度曲线”

温度校正

主控控温温度和试样温度的差值,系统全程进行非线性修正(询问客户常用温度点,做特别效验)

真空泵类型

直联旋片式真空泵(双级旋片)

抽气速率

4(l/s)

进排气连接口

kf16/25(mm)

用油量

0.6~1l

电机转速

1440(rpm)

工作环境温度

5~40℃

噪音(db)

≤56

真空计类型

数显真空计

系统真空

3~5pa (另选配分子泵可达6.3*10-3pa)

流量计类型

2路质量流量控制器 300sccm,500sccm, 可根据客户需求选择流量范围

气路管芯

专用不锈钢气体管道(1/4")

调节阀类型

手动调节阀

管道常态

常闭

测量精度

±1.0%f.s

精度保证温度

15~35℃

系统保护

超温报警,过流保护,断偶提示

电气规格

220v 50hz 5kw

随机产品配置

石英炉管1 ,炉塞1套 ,炉钩一只,说明书1份;随机工具等。

服务项目

运输及保险费,包装费,安装及技术服务费; 提供12个月质保,触控系统24个月,终身保修。

控制系统

1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正

* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746

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